資訊中心

集團新聞 | 媒體聚焦 | 行業動態
您的位置︰ 首頁 > 資訊中心 > 集團新聞

發布時間︰2019-06-21

上海科創投集團投資企業中微半導體設備(上海)有限公司在6月20日下午召開的科創板上市委第7次審議會議上順利過會。

1

中微半導體成立于2004年5月,是一家以中國為基地、面向全球的高端集成電路加工核心設備供應商,公司產品包括等離子體介質刻蝕設備、 通孔刻蝕設備以及MOCVD(金屬有機化合物化學氣相沉積)設備。刻蝕設備是集成電路晶圓制造的核心設備之一。中微半導體通過自主研發和持續創新,致力于向國內外半導體芯片前端制造、後端封裝、LED生產以及其他微觀制程環節客戶提供關鍵設備和高質量服務,是國際技術最領先的刻蝕行業領軍企業之一。

2

中微半導體創始人、公司董事長兼首席執行官尹志堯博士曾長期在美國 谷致力于等離子體刻蝕設備的開發及產品管理,先後在英特爾、LAM、應用材料等世界知名半導體公司從事核心技術研發及企業管理工作,是國際知名的等離子體刻蝕技術的領軍人物和產業化的重要推動者。2004年,在尹志堯博士帶領下,一大批全球半導體設備行業的研發、工程技術和產業化營運的頂尖專家一致看好中國發展的巨大前景,懷著產業報國的滿腔熱情,回國創立中微半導體,經過十多年辛勤耕耘,共同將中微半導體打造成為產業界公認的國際高端半導體設備“後起之秀”。

3

中微半導體是國家科技重大專項推動成果應用及產業化的標志性成功範例。刻蝕設備是集成電路晶圓制造的最核心設備之一,在產業鏈中具有關鍵作用及戰略價值,長期被國外廠商壟斷。在國家科技重大專項以及上海市等各方的持續支持下,中微半導體不斷投入研發,先後開發出三代多型號刻蝕設備,涵蓋了65納米至5納米各工藝節點的眾多刻蝕應用。  

中微半導體由科創投集團前身上海創投參與發起設立,十幾年來,集團持續支持企業不斷加速技術研發並推動市場應用。截至2018年末,中微半導體累計已有1100多台反應腔設備服務于國內外40多條先進芯片生產線。憑借強大的自主研發實力,中微半導體在國際專利訴訟等挑戰中牢牢把握主動權,並打破了長期以來“瓦森納協議”對我國在該領域的壟斷與封鎖,在全球市場佔據了領先位置。在美國VLSIResearch晶圓制造設備客戶滿意度調查中,中微已連續兩年全球排名前三,也是唯一一家上榜的中國設備公司。